高純氣體管道氦氣檢漏方法

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                發布時間:

                2022-10-26


                  1、高純大宗氣體管道氦檢漏方法宜采用內向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

                  2、內向檢漏法(噴氦法)應采用在高純氣體管道內部抽真空,外部噴氦氣的方法進行檢漏。

                  3、閥座檢漏法應采用閥門上游充氦氣,下游抽真空的方法檢漏。

                  4、外向檢漏法(吸槍法)應采用在高純氣體管道內部充氦氣或氦氮混合氣,外部用吸槍檢查可能泄漏點的方法檢漏。

                  5、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀,其檢測精度不得低于1

                  6、高純氦氣檢漏的泄漏率應符合下列要求:

                  6.1、內向檢漏法測定的泄漏率不得大于1*10-9mbar. l/s;

                  6.2、閥座檢漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s;

                  6.3、外向檢漏法測定的泄漏率不得大于1*10-6mbar. l/s

                  7、氦檢漏發現的泄漏點經修補后,應重新進行氣密性試驗并合格,然后應按規定再時行氦檢漏。

                  8、所有可能泄漏的點應用塑料袋隔離。

                  9、系統測試完畢,應充入高純氮氣或氬氣,并應進行吹掃。

                  10、測試完畢后,應提交測試報告。

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